Các thấu kính F-Theta thường được sử dụng kết hợp với gương quét điện kế trong các hệ thống khắc, cắt và đánh dấu bằng laser. Thông thường, độ méo F-Theta của thấu kính được giữ ở mức dưới 1% để có thể tạo ra một điểm chính xác trên mặt phẳng ảnh.
Sai số đường kính: +0/-0,13mm
Sai số độ dày: ±0,25mm
Sai số tiêu cự: ±2%
Biến thiên độ dày cạnh (ETV): ≤3 phút cung.
Khẩu độ rõ: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Chất lượng bề mặt: 40-20 SD
Lớp phủ AR: R<0,2% trên mỗi bề mặt @10,6μ